广州晶圆清洗机

详细内容：

晶圆制造工艺技术中清洁步骤和目的

根据清洁方法的各种不同，清洗机械可分成两种，分别是单片式和槽式。

单片式清洗机是由好多个清洁内腔组成，再充分利用广州机械手臂将每一片晶圆送至每个内腔中开展单独的喷淋式清洁，清洁成效比较好，防止了交叉破坏和前批次破坏后批次，但缺陷是清洁效率较低，成本费用偏高。

槽式清洗机是将晶圆放到花篮中，再充分利用机械手臂逐个将其充分利用各种不同的化学试剂槽开展清洁，槽内装配有酸碱等化学液，一次能够同时清洁一个花篮或两个花篮，该类清洗机清洁效率较高、成本费用较低，缺陷是清洁的晶圆之间会存有交叉破坏和前批次破坏后批次。

槽式清洗机主要是由抗腐蚀机架、酸槽、水槽、干燥槽、操纵单元、排风系统单元及其气体和液体管道单元等几大部分组成。